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NIST SRM 1010a 顯微分辨率測試圖(標準品)旨在用于確定攝影行業(yè)中顯微系統(tǒng)的分辨能力,。它旨在滿足 ISO 2 號測試圖表的一般要求,，如 ISO 3334: 1989 [1] 中所述,。此 SRM 由五個相同的圖表組成，帶有 26 個圖案,，印在具有光澤表面的白色相紙上,。每個圖表標稱 90 毫米寬 x 113 毫米高。

測試圖表圖案描述：

圖案由白色背景上的黑色條組成,，條的長度是其寬度的 24 倍,，條和空格的寬度相等,。圖案的空間頻率范圍為 1 個周期/mm 到 18 個周期/mm。每個圖案由兩組五根雙杠組成,；兩組中的酒吧彼此垂直,。與每個圖案相關(guān)的數(shù)字是該圖案上的周期數(shù)/毫米。

認證到期：只要按照本證書中給出的說明存儲和處理 SRM,，則本 SRM 的認證被視為在規(guī)定的公差范圍內(nèi)是無限期的

NIST 測量技術(shù)：

所有NIST SRM 1010a 顯微分辨率測試圖(標準品)測試圖均由一個主負片制成,。最初，該批次中 25% 的測試圖表分別通過測量顯微鏡和反射密度計進行水平和垂直觀察測量的評估,。 1998 年,，隨機測量了五個從剩余庫存中選擇 SRM 單元。使用定制的空氣軸承支持的 X-Y 坐標機,，使用超高精度顯微鏡和激光干涉儀定位臺重新測量線寬,、線長、空間寬度和相對密度,。系統(tǒng)的 X-Y 坐標精度大于 40 nm,。還使用標準測量顯微鏡和使用帶有校準刻度的手動模式的 X-Y 坐標機檢查測量結(jié)果。

測量結(jié)果 相對于 ISO 3334: 1989 規(guī)格：

所有圖案的相對密度都超過了規(guī)定的 85 % 下限,。四個完整周期的空間頻率誤差小于為所有模式規(guī)定的 3%,。所有模式的行長度都在規(guī)定范圍內(nèi)?？臻g頻率 1.0 到 5.0 和 10通過 18,，都在規(guī)定的公差范圍內(nèi)。對于 5.6 到 9.0 的空間頻率,，公差最多超過 0.03,，見表 1。鏡頭,、照相材料的分辨能力,、聚焦精度、振動和光學圖像相對于照相材料的系統(tǒng)相對運動,。系統(tǒng)的分辨能力（以周期/mm 為單位）是圖像中分辨出的圖案數(shù)量乘以縮小比的倒數(shù),。